喷雾式涂胶的新应用

摘要：

介绍了喷雾式涂胶(Spray Coating)的多种新应用.在形貌起伏很大的表面均匀地涂布光刻胶(抗蚀剂)是一项非常有挑战性的工作,喷雾式涂胶正是为了满足这个挑战而开发的.实践证明,与传统的旋涂技术相比,喷雾式涂胶可以在保持光刻胶均匀性良好的同时显著地节约光刻胶的用量.已经发现此技术可用于非圆形基片和多件基片同时涂布.此外,此技术也可以为脆弱的结构提供保护性涂胶以及悬空结构的填充.

关键词：光致抗蚀剂、喷雾、涂胶、腔、覆盖、方形基片、空中桥梁

所属期刊栏目：34

分类号：TN305.5(半导体技术)

在线出版日期：2005-11-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：52-55