新型硅芯晶体炉的开发与设计

摘要：

从分析硅芯晶体生长的工艺特点出发,简要介绍了硅芯晶体生长设备的设计思想以及新近开发设计的新型硅芯晶体炉的机械结构及电气控制系统.

关键词：硅芯炉、工艺特点、机械结构、电气控制

所属期刊栏目：34

分类号：TF806.9(有色金属冶炼)

在线出版日期：2005-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：7-9,12