电子束曝光机的一种新型精密工件台结构特点及几何精度分析

摘要：

介绍了电子束曝光机的一种新型精密工件台,在结构上成功地将工件台的承载力与导轨的导向作用分离开来,极大地提高了工件台的运动精度和运行的平稳性.论述了精密工件台的结构设计要点、几何精度以及达到的技术指标.

关键词：电子束曝光机、精密工件台、结构设计、几何精度

所属期刊栏目：34

分类号：TH113.2

资助基金：中国科学院知识创新工程项目H2K0206

在线出版日期：2005-08-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：11-13,21