微流体泵制造技术及合成橡胶材料RTV615分析

摘要：

介绍了通过多层软刻蚀技术来设计和制造微型液流旋转式泵,研究如何利用其实现生物科学中的高分子化合物等低层流液流的控制.介绍了泵的制造工艺以及合成橡胶材料RTV615的特点,制造过程中使用到的主要仪器和设备.指出了制造工艺方面有待解决的问题并对微流体泵的前景作了展望.

关键词：微机电系统、微流体泵、RTV615、液体逻辑模块

所属期刊栏目：33

分类号：TH133.31

在线出版日期：2005-01-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：59-62