小型等离子清洗/刻蚀机的应用

摘要：

综述了等离子体产生的原理,小型等离子清洗/刻蚀机的特点,在各加工行业的应用,特别是在科研机构发挥了举足轻重的作用,包括等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面改性等.论述了小型等离子清洗/刻蚀机在TEM、SEM、电镜等方面的特殊应用.并讨论了等离子处理对于产品的可靠性和过程效率的提高是目前最理想的技术及其优势.

关键词：等离子清洗、刻蚀、表面处理

所属期刊栏目：33

分类号：TN305.97;TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2004-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：33-38