电子器件性能综合检测台低气压系统的计算机控制

摘要：

主要叙述了采用计算机控制电子器件性能综合测试台的气压,采用专门设计制造的伺服电动阀,通过改变伺服电动阀的开启角度达到控制气压的目的.气压的控制精度实测值为:在常温条件下的5×10-2Pa～5 kPa范围内误差不大于±6.4%;在-55℃的低温条件下的0.4～5 kPa范围内误差小于±5.6%,同时实现了检测台的操作、控制、数据采集和处理等方面的自动化,提高了测试数据的准确性和可重复性.

关键词：低气压、计算机、控制

所属期刊栏目：32

分类号：TN606(电子元件、组件)

在线出版日期：2003-11-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：62-64