摩尔定律与半导体设备(续前)

摘要：

@@ 2.3纳米半导体工艺及其设备
影响摩尔定律的寿命和芯片特征尺寸能否进一步缩小的焦点是100nm的尺寸,正好是纳米技术的范畴.所谓纳米技术是以十亿分之一米单位为对象的超精密技术,又通常指0.1～100nm范围内加工或操作单个原子的技术.

机标关键词：摩尔定律、纳米技术、半导体工艺、特征尺寸、精密技术、单个原子、内加工、芯片、寿命、设备、焦点、范畴、对象、单位、操作

所属期刊栏目：32

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：35-37,42