投影光刻机镜头的装校关键工艺与技术

摘要：

重点介绍投影光刻镜头的装配结构、材料和加工、定心、检测、调整、连接等环节的基本要求、工艺方法和保证措施.在此基础上介绍了一种光刻镜头专用装校系统;最后结合我国的光刻镜头研制现状和存在问题对今后的发展方向提出几点个人见解.

关键词：投影光刻机、光刻镜头、装校工艺

所属期刊栏目：30

分类号：TN3;TN4

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：8-14