微型光机电系统及其制作

摘要：

微型光机电系统(MOEMS)是将微光学、微电子和微机械系统结合发展出一种新型、宽广的应用领域,从早期的分立光学元件与电子电路向独立完整的光学系统发展.阐述了实现MOEMS的2种技术手段:光波导和微型光学平台的原理、制作工艺和关键技术,在此基础上概要介绍了几种典型的MOEMS系统.最后对其的发展作了展望.

关键词：微型光机电系统、制作、集成电路工艺

所属期刊栏目：29

分类号：TN405(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：科技部科研项目G199903-07

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：1-7,12