基于ASM E2000外延炉温控系统的电压校准研究

摘要：

ASME2000外延炉采用可控硅(SCR)来控制加热灯管的输入电压,采用热电偶(TC)监测并反馈温度的方式进行加热.该机型的加热系统中,各项电压的校准精度决定了系统控制的温度精度.研究的温控系统可分为TC电路板和SCR电路板,对于TC信号处理板的电压校准,其校准精度应在±0.01 V;对于SCR控制信号的电压校准,其校准精度应在±0.001 V;对于SCR输出的电压校准,应优先测量进电电压,根据负载和进电电压的具体情况做出调整,其校准精度应在±1V.这样的校准方法可以有效、精准地控制生长温度,并使机台间的差异性达到最小,提升机台的标准化能力.

关键词：可控硅、热电偶、温度控制、电压调整、ASM E2000外延炉

所属期刊栏目：24

分类号：TN349(半导体技术)

在线出版日期：2024-01-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：73-77