探卡对功率器件导通压降测试的影响

摘要：

功率半导体器件是各类电力电子装置的重要组成部分,对系统的效率、可靠性、功率密度等性能起着决定性作用.导通电阻作为器件最重要的参数之一,直接影响到该器件的使用.探卡是用于测试封装前芯片的一种精密的接触工装,探卡上探针的针尖分布和扎针位置对导通电阻测试有一定的影响,芯片面积和测试电流越大,对探卡测试的影响越大.基于以上分析,建立了探卡测试导通电阻模型.通过验证发现,在相同的探卡探针分布下,模型的精度大于96％;在不同的探卡探针分布下,模型的精度大于87％.

关键词：功率器件、导通压降、探卡、探针

所属期刊栏目：23

分类号：TM934.14

在线出版日期：2023-07-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：6-10