基于特征参数仿真的引线键合强度测量系统分析

摘要：

引线键合强度测量具有破坏性和不可重复测试的特性,无法采用传统的测量系统分析方法对其进行分析.采用对工艺参数总体分布的特征参数的均值和标准偏差仿真的方法,选择服从相同正态分布的标准砝码作为替代样本.利用方差分析法计算引线键合强度测量系统的重复性和再现性,分析替代样本与操作者的交互作用.基于特征参数仿真的测量系统分析方法可以反映引线键合强度测量系统的精密度,降低了产线统计过程控制的成本.

关键词：键合强度、替代样本、特征参数仿真、方差分析法、测量系统分析

所属期刊栏目：23

分类号：TN305.94(半导体技术)

在线出版日期：2023-07-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1-5