生长在图形化蓝宝石衬底上的GaN薄膜光学性质研究

摘要：

图形化蓝宝石衬底(PSS)技术作为提高LED发光效率的方法之一,一直备受关注.研究了 PSS上生长的GaN薄膜的表面形貌、吸收光谱、红外光谱、拉曼散射(Raman)和太赫兹光谱等,并与常规蓝宝石衬底上的GaN外延薄膜进行对比.结果表明,PSS上生长的GaN外延薄膜的表面形貌、光提取效率(LEE)得到明显改善.此研究成果对进一步提高GaN基短波(蓝/紫光)发光二极管(LED)的发光效率具有一定的借鉴意义,为进一步拓展PSS器件的太赫兹响应提供了依据.

关键词：图形化蓝宝石衬底、GaN薄膜、光学性质

所属期刊栏目：23

分类号：TN305;O484.1(半导体技术)

在线出版日期：2023-05-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：75-79