临时键合技术在晶圆级封装领域的研究进展

摘要：

随着5G、人工智能和物联网等新基建的逐步完善,单纯依靠缩小工艺尺寸来提升芯片功能和性能的方法已经难以适应未来集成电路产业发展的需求.为满足集成电路的多功能化及产品的多元化,通过晶圆级封装技术克服摩尔定律物理扩展的局限性日趋重要.目前,在晶圆级封装正朝着大尺寸、三维堆叠和轻薄化方向发展的背景下,临时键合与解键合(TBDB)工艺应运而生.针对晶圆级封装领域可商用的TBDB技术,论述了不同TBDB工艺在晶圆级封装领域的研究进展及应用现状,明晰了不同TBDB技术所面临的挑战和机遇,提出了相应的解决方案,并展望了未来的研究方向.

关键词：临时键合、解键合、晶圆级封装

所属期刊栏目：23

分类号：TN305.94(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;广东省重点领域研发计划;深圳市基础研究

在线出版日期：2023-04-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：34-42