基于贝叶斯学习的PID温控算法在芯片烘箱中的应用

摘要：

利用朴素贝叶斯分类器对芯片无氧化烘箱温度PID控制历史数据进行多代偏差和偏差变化量分析处理,来评价当前控制的有效性及参数设置的合理性;并与专家控制系统结合构成一种参数自整定机器学习方法,实现设备智能控制.基于该方法设计出自动收集数据集、进行贝叶斯学习训练及验证的程序算法.

关键词：PID控制、贝叶斯学习算法、机器学习、芯片烘箱

所属期刊栏目：22

分类号：TP273(自动化技术及设备)

资助基金：甘肃省教育厅教育揭榜挂帅项目;甘肃省高等学校创新基金项目;甘肃省高等学校创新基金项目

在线出版日期：2022-09-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：7-13