SiC功率器件辐照诱生缺陷实验研究进展

摘要：

第三代宽禁带半导体碳化硅(SiC)功率器件在航天、航空和核工业等强辐射领域的极端环境下应用时会受到辐照损伤的影响诱生缺陷,最终导致器件性能退化或者失效.简要介绍了 SiC功率器件辐照效应发展历程和辐照效应,梳理轻离(粒)子辐照诱生缺陷与敏感参数退化的实验规律,分析总结重离子辐照SiC功率器件中一些关键技术问题,特别是不同温度辐照诱生缺陷形成机理的异同,为今后深入开展SiC肖特基二极管(Schottky Barrier Diode,SBD)的辐照诱生缺陷、器件性能退化研究及SiC相关器件的材料抗辐照性能的改善和结构优化提供实验数据和理论依据.

关键词：碳化硅、辐照诱生缺陷、深能级缺陷、电学性能、重离子辐照

所属期刊栏目：22

分类号：TN306(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;模拟集成电路重点实验室基金;国防科技工业抗辐照应用技术创新中心项目

在线出版日期：2022-06-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：1-9