基于Al2O3/NEA121堆叠薄膜的水氧阻隔性能研究

摘要：

薄膜封装是有机电致发光器件柔性化亟需解决的关键技术难题.用NEA121树脂与Al2O3作为薄膜封装的有机膜与无机膜封装,封装薄膜的水氧阻隔性能通过钙膜测试.实验结果表明,3层堆叠Al2O3/NEA121封装后的水汽透过率(Water Vapor Transmission Rate,WVTR)达到2.1×10-4 g/(m2·d),封装薄膜的失效原因是水汽通过封装薄膜缺陷点渗透,不断腐蚀钙膜导致封装失效,而采用无机/有机堆叠封装的方法使薄膜的封装效果得到了改善.

关键词：薄膜封装、无机/有机叠层薄膜、水汽透过率、原子层沉积、旋涂

所属期刊栏目：22

分类号：TN383+.1;TN873+.3(半导体技术)

在线出版日期：2022-05-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：16-20