硅基微流道高效散热技术在宽带微波收发组件中的应用

摘要：

硅基微流道散热技术可以实现每平方厘米数百瓦的高效散热能力.开发了硅基微流道散热器,实现了 600 W/cm2以上的高效散热能力.硅作为半导体材料,会影响微波功率芯片的接地性能.通过对硅基微流道散热器进行整体金属化处理,可使其满足宽带微波收发组件的应用要求.将硅基微流道散热器集成在大功率收发组件中,在2～6 GHz的频率范围内,组件能够正常工作,饱和输出功率大于40 dBm.

关键词：硅基微流道;高效散热;宽带微波

所属期刊栏目：21

分类号：TN454(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2021-08-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：99-102