一种用于引线键合工艺的自动在线检测技术

摘要：

详细论述了引线键合在线自动检测技术原理及实现方法,分析了影响检测准确性的因素,并提出了相应的解决措施.基于机器视觉系统,提出了一种金丝球焊键合在线自动检测法,通过对键合引线形成的二维图像进行数字化处理,实现了对键合引线连接正确性、植球完整性、焊球直径、引线断裂、偏移、塌陷等缺陷的在线检测.该技术使用机器自动检测代替人工检测,使检测效率提升了80％左右,检测准确率达到100％.

关键词：自动检测、在线检测、金丝球焊检测、机器视觉系统

所属期刊栏目：21

分类号：TN405(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2021-07-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：31-35