一种高压模拟开关漏电失效解决方法

摘要：

高压模拟开关在现代超声领域发挥关键作用.综合考量传输速度、导通电阻、通道隔离度等性能指标,利用红外热成像技术解决了电路漏电的失效问题.该技术包括红外热成像、漏电失效分析、漏电测试、器件原理分析及漏电解决方案等措施,提出了高压模拟开关器件漏电失效问题的通用解决方法,对高压模拟开关漏电失效问题的解决具有较高的参考价值.另外,该方法通过对器件内部工艺结构的分析,发现了器件漏电失效的本质因素,对后续器件工艺结构的改进具有一定的指导意义.

关键词：高压开关、漏电失效、系统结构

所属期刊栏目：21

分类号：TN406(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2021-05-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：67-70