微波固态器件与单片微波集成电路技术的新发展

摘要：

对不同时代的单片微波集成电路(MMIC)的器件工艺发展和应用发展状况进行概况总结,并结合当前的研究与应用热点,重点分析以砷化镓(GaAs)、氮化镓(GaN)为代表的微波化合物固态器件和基于MMIC的异构异质集成新技术路径,并就今后发展的趋势做出展望.

关键词：微波单片集成电路、氮化镓、砷化镓、磷化铟、异质集成

所属期刊栏目：21

分类号：TN385(半导体技术)

资助基金：广西精密导航技术与应用重点实验室开放基金;安徽省重点研究;开发计划

在线出版日期：2021-03-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共11页

页码：48-58