纳米级数字集成电路老化效应分析与老化监测技术综述

摘要：

数字集成电路随着工艺制程的提高,可靠性问题逐步凸显,而老化则是可靠性问题的一个重要方面.同时由于数字集成电路被广泛地应用于工业、汽车、航天等领域,对可靠性提出更高的要求,因此针对数字集成电路老化监测的技术成为了研究热点.对数字集成电路的老化效应进行了总结,并分析得出先进工艺下需要重点监测的老化效应,对数字集成电路现有老化监测手段进行总结分析,同时对老化监测技术的进一步发展提出了展望.

关键词：数字集成电路、可靠性、老化监测

所属期刊栏目：20

分类号：TN406(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：自然科学基金项目61701095

在线出版日期：2020-11-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：1-8