热波探针在离子注入表征上的应用

摘要：

离子注入工艺稳定性的多个表征方法中,热波探针法快速、灵敏且无损,可用于离子注入工艺角度、注入剂量及均一性的表征.介绍了热波探针应用的理论依据和数据实例,并结合数据实例研究了热波探针法的应用特点和规律.当热波探针应用于离子注入角度表征时,需要保证前期机械校准的有效性及隧穿效应敏感区角度的选用.当应用于剂量准确性和均一性表征时,则需要将注入剂量控制在中、低等剂量范围内,避开隧穿效应敏感区,还需有效规避热晶圆效应.

关键词：离子注入、热波探针、角度、剂量、均一性

所属期刊栏目：20

分类号：TN305.3(半导体技术)

在线出版日期：2020-09-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：52-56