激光修调法对LTCC内埋电阻的精确控制

摘要：

低温共烧陶瓷(Low Temperature Co-fired Ceramic,LTCC)技术具有集成无源元件的优势.LTCC内埋电阻因其内部埋置的特点,无法实现烧结后精确调阻,对印刷工艺水平要求较高,且波动范围较大.主要讨论了印刷工艺下影响电阻的各参数引起的电阻波动范围,提出并采用一种印刷后激光修调电阻的方式,使内埋电阻的阻值波动范围控制到±16％.

关键词：LTCC、内埋电阻、波动范围、激光修调

所属期刊栏目：20

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2020-07-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：17-23