现代元器件尺寸测量方法

摘要：

尺寸测量是评估元器件的结构是否满足设计要求及安装匹配性的重要手段.介绍了现代元器件尺寸测量的主要方法及测量原理,包括接触式三坐标测量、激光三角测量及激光共聚焦测量等新技术.针对现代元器件测量难点,对不同测量方法的适用范围及局限性进行了论述,并总结了现代元器件尺寸测量仍需要解决的一些典型问题.

关键词：尺寸测量、电子元器件、接触式测量、非接触式测量

所属期刊栏目：20

分类号：TN307(半导体技术)

资助基金：国家重点研发计划No.2017YFB0503200芯片原子钟技术;广州市科学研究计划No.201904010457面向5G通信的GaN HEMT热特性检测及寿命预测研究

在线出版日期：2020-07-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1-7