Nikon光刻机激光步进对准系统研究

摘要：

介绍了Nikon光刻机最常用的对准方式,即激光步进对准(LSA).从基本的光学系统出发,介绍了LSA在Nikon光刻机中的作用,搜索和增强型全局对准(EGA),详细阐述了LSA的工作原理及其对工艺的影响,最后介绍了LSA对准系统的技术指标和作用.

关键词：对准、LSA、标记、指标

所属期刊栏目：19

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2019-09-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：44-47