高频双极晶体管工艺特性研究

摘要：

高频双极晶体管由于具有高频、电流放大等特性,已广泛应用到放大器电路、电动机、高频雷达、航空航天工程等领域.对目前典型的高频双极晶体管制作工艺进行了分析与探讨,重点研究了制作工艺中的难点,包括集电极深N阱工艺、多晶硅刻蚀工艺、多晶硅发射极工艺.设计并试制了工程样品,对于关键工艺对器件结构及参数的影响进行了详细的研究,可为实际的生产制造提供理论指导.

关键词：高频双极晶体管、集电极深N阱、多晶硅刻蚀、多晶发射极

所属期刊栏目：19

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2019-08-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：40-44