一种关于老炼试验过程状态监测方法的研究

摘要：

老炼试验是能将早期失效剔除的无损试验技术,是集成电路筛选流程中重要的一环,试验过程中随时监测受试器件工作状态是提高试验水平的重要手段.主要研究如何在老炼试验过程中实时监测受试器件的工作状态.通过对受试器件输出波形进行采样隔离、频率处理,并与预定波形相比较,以判断器件是否正常工作,且具备监测异常自动报警的功能.实现了有效提高状态监测工作效率、成本低、使用维护简单的监测方法和装置,为提高筛选质量提供了可行的保障手段.

关键词：老炼试验、单片机、信号处理、状态监测

分类号：TN306(半导体技术)

在线出版日期：2018-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：64-66