钝化层对高压蒸汽试验中器件参数漂移的影响

摘要：

采用SiO2钝化层的塑封双极晶体管在EIA/JESD22-A102-C规定的121℃、100％RH、29.7 psi压力的条件试验96 h后,直流增益HFE测试值会有明显的下降,击穿电压BV CEO会略有上升.分析表明高压水汽可以穿透封装和钝化层,造成芯片内部微缺陷增加,导致器件HFE下降,BV CEO略有上升.通过优化钝化层工艺并对比试验验证,采用SiO2加Si3N4的复合钝化层,可以避免器件参数漂移,改善器件抗潮湿性能.

关键词：钝化层、双极器件、HFE、高压蒸汽

分类号：TN306(半导体技术)

在线出版日期：2018-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：60-63