深入理解光学检漏:漏率计算及其他
光学检漏(OLT)是借助先进的数字电子全息照相干涉测量技术,实现同步完成传统气密封装的细检漏、粗检漏过程的一项新型检漏技术.重点介绍了光学检漏漏率计算公式的推导过程,并对光学检漏测量数据的准确性、光学检漏方法的优缺点等进行了比较和讨论.
光学检漏、气密性、漏率计算公式
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TN305.94(半导体技术)
2018-08-15(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
7-11
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光学检漏、气密性、漏率计算公式
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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