基于LTCC技术的无源气压传感器研制
介绍基于LTCC技术的无源气压传感器的基本原理和理论模型,主要制作工艺流程和关键工艺难点.研究了LTCC内埋型空腔的实现方法、牺牲层材料的选取和依据,并对无源气压传感器的理论模型进行仿真分析与实际测试.结果表明利用LTCC内置空腔技术研制的气压传感器测试结果与仿真分析吻合较好,谐振频率随外界压力的增大而减小,谐振频率随压力的变化近似于线性变化,在复杂环境内依然能够实现预期功能.
LTCC、内埋型腔体、气压传感器
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TN305(半导体技术)
2017-06-20(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
5-7,15