带通滤波器LTCC工艺优化研究

摘要：

针对LTCC(低温共烧陶瓷技术)带通滤波器结构以及制作工艺特点,对LTCC带通滤波器制作的过程工序进行试验及分析,确定了制作偏差超过设计容差的过程工序.以滤波器设计容差为参考依据分别对相关工序以及偏差量进行了详细分析,提出了针对性工艺优化措施,有效解决了滤波器中心频率偏移的问题.采用优化后工艺所制作的滤波器中心频率偏差由±30 MHz提高到±5 MHz,满足使用要求.

关键词：LTCC、过程工序、工艺优化

所属期刊栏目：17

分类号：TN305.94(半导体技术)

在线出版日期：2017-04-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：5-9