一种微型探针台的设计和应用

摘要：

介绍了一种便携式探针台,其结构小巧,功能实用,成本较低,可以满足基本的试验需求.特别之处在于显微镜和探针台采用分体结构设计,使得探针台部分能从整个探针台系统中独立出来,可以应用于辐照试验中.固定在探针台上的芯片可以与探针台一起放置于空间任意位置,方便将芯片对准辐照源中心.该探针台也可放置在高低温箱中,用于芯片的三温测试.加上显微镜固定采用多角度云台支架设计,支持全方位观察,可以使得观察更加立体直观.探针卡采用多探针结构,可实现多路测试,并且探卡及其信号连接线采用了低漏电及EMI设计,测试精度可以达到0.1nA以下,配合接地良好的铝制屏蔽盒,增加了抗干扰能力,其测试数据更加精确.

关键词：探针台、晶圆、辐照、高低温、测试系统

所属期刊栏目：17

分类号：TN307(半导体技术)

在线出版日期：2017-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：41-46