LTCC不锈钢网版清洗工艺优化

摘要：

网版清洗是LTCC加工过程中一道重要的工序,它对LTCC产品中通孔和线条图案精度和连通可靠性起着极为重要的作用.特别是在网版再次使用过程时,只有将网版图案和丝网网孔中的金属浆料清除干净才能满足后续印刷的质量要求.分析了目前清洗工艺的现状,对网版清洗工艺进行优化,通过半自动清洗设备和清洗剂进行分析比较,并对关键工艺因素开展正交试验,获得了较优的工艺参数.

关键词：不锈钢网版、清洗工艺、正交试验

所属期刊栏目：16

分类号：TN305.94(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金61404119

在线出版日期：2016-12-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：11-14