破坏性试验能力验证方法研究

摘要：

能力验证是利用实验室间比对,按照预先制定的准则评价参加者的能力,即利用实验室/机构间结果的比对来判定实验室/机构在制定业务范围内校准、检测或测试的能力.过去很多人认为破坏性试验不能进行能力验证试验.以电子元器件破坏性物理分析(DPA)试验时进行的破坏性键合强度试验的能力验证方案为例,开展破坏性试验能力验证方法研究,为往后在实验室间进行破坏性试验的能力验证活动提供一定的参考.

关键词：能力验证、校准、破坏性试验

所属期刊栏目：16

分类号：TN306(半导体技术)

在线出版日期：2016-10-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：5-8