10.3969/j.issn.1681-1070.2016.03.012
一种新型热导式氧气浓度测量方法
探讨了多种氧气浓度的测量方法,基于微米尺寸悬膜电阻和热传导原理设计了一种新型的热导式氧气浓度测量方法.使用精细微机械加工的悬膜电阻,使得关键元件功耗和成本大为降低.经过仿真模拟和初步实验验证,热导式微型氧气传感器可精确检测较高的氧气浓度.
氧气浓度、微电子机械系统、热导
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TN305(半导体技术)
2016-06-17(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
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10.3969/j.issn.1681-1070.2016.03.012
氧气浓度、微电子机械系统、热导
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TN305(半导体技术)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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