10.3969/j.issn.1681-1070.2016.02.012
激光调阻L型切割的仿真分析
激光调阻具有高效率、高精度,是目前制备高精度印刷电阻的通用方法,广泛应用于厚膜集成电路、厚膜传感器等.L型切割精度高,阻值稳定性好,是最常用的调阻切割路径.对不同L型切割尺寸切割后的电阻进行仿真,分析电阻上的电流密度和发热功率分布,得到的结果与实际经验吻合很好,对L型切割路径参数设置具有指导意义.
激光调阻、L切割、电流分布、仿真
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TN305.1(半导体技术)
2016-04-27(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
37-39,48