探针卡nA级漏电故障判断与分析

摘要：

针对器件测试过程中发现的nA级漏电现象进行判断和分析，并提出解决方案。介绍了探针卡nA级漏电故障判断与分析的方法，通过判断分析把故障原因锁定在PCB板上，然后对PCB板进行分析测试，分别从PCB吸潮情况、板材绝缘性能、孔列区域排布等方面进行试验。试验结果表明， PCB板制作时受到阻焊桥工艺能力的限制，孔环间阻焊桥脱落，孔环间基材裸露，最终导致该板绝缘性能较差，漏电超标。可以通过放大孔环间距或提高阻焊工艺能力的方法来保证阻焊桥的制作，同时使用具有较高电阻率的材料，提高PCB板的绝缘性能。

关键词：探针卡、漏电、PCB板

分类号：TN307(半导体技术)

在线出版日期：2015-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：13-16,33