10.3969/j.issn.1681-1070.2015.07.011
基于FerroA6M的T/R组件L波段工艺技术研究
根据目前市场对T/R组件高可靠性的要求,采用Ferro材料制作T/R组件。根据产品要达到的各方面性能,研究适合它的LTCC工艺。首先对T/R组件工艺技术的研究分成两轮实验,分别采用金浆和银浆浆料系统,每道工序做细致的实验。实验结果显示层压后出现分层,烧结完后产品翘曲,效果不佳。然后通过改进工艺技术,尤其是叠片工艺的改进,得到了良好的效果,各方面指标达到产品要求,找到了适合Ferro材料的LTCC工艺。
LTCC、T/R组件、工艺技术、Ferro材料
TN305(半导体技术)
2015-08-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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