基于LTCC的毛纽扣垂直互连技术研究

摘要：

基于独立的二维LTCC微波模块间的垂直互连技术展开研究，设计两种毛纽扣微波垂直互连结构，分别为同轴型和三线型。通过三维电磁仿真软件HFSS对三线型毛纽扣垂直互连结构模型进行分析优化，并对相应工艺进行研究，完成两种毛纽扣垂直互连样品的制作。模型中选用的毛纽扣高度为3 mm，直径0.5mm。两种毛纽扣互连样品测试结果均与仿真结果相符，在X波段内都具有良好的微波传输性能。

关键词：低温共烧陶瓷、三线型毛纽扣、微波模块、垂直互连

分类号：TN405.97(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2015-07-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：13-15,31