晶圆级传输线脉冲测试方法

摘要：

随着晶圆测试技术的发展,晶圆级传输线脉冲(TLP)测试逐渐由封装级向晶圆级转移,晶圆级TLP测试的出现不仅降低了设计成本,同时大大缩短了ESD保护结构的评价周期.针对晶圆级TLP测试方法尚无标准可依的现实情况,结合理论推导过程,从线路搭建、设备校准、结果确认等关键点探索可行而有效的晶圆级TLP测试方法.

关键词：传输线脉冲、测试方法、晶圆级

所属期刊栏目：15

分类号：TN306(半导体技术)

在线出版日期：2015-03-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：10-13