多晶高阻长度对多晶电阻方块值的影响

摘要：

在集成电路中光刻、腐蚀、横向扩散等工艺步骤常会引起电阻阻值的变化,因此在集成电路版图绘制过程中,版图画法对电阻的影响很大.在集成电路设计过程中电阻通常都设计得比较长,容易忽略电阻长度对阻值的影响.当需要将电阻长度设计得较小时,势必要考虑电阻长度对集成电路阻值的影响.在一些不同的工艺中,电阻变短时电阻长度对阻值的影响趋势很可能相反.对比不同工艺中多晶电阻制造的原理,通过流片取得一家工艺厂实际电阻的阻值,分析并比较与其类似的工艺,同时对比另一家工艺厂电阻阻值随长度变化的影响,给出区分多晶电阻长度对阻值影响的判别依据.

关键词：集成电路、版图、电阻、长度

所属期刊栏目：14

分类号：TN305.6(半导体技术)

在线出版日期：2015-03-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：42-44