响应曲面法在VDMOS设计中的应用

摘要：

响应曲面法（Response Surface Methodology）是数学方法和统计方法相结合的产物，是用来对所感兴趣的问题进行建模和分析的一种方法。其利用合理的实验设计方法并通过实验得到一定数据，采用复合中心来拟合因素与响应值之间的预测模型，通过对模型的分析来寻求最优设计参数和流程的最佳操作设置，从而解决多变量的实验问题。该方法可应用在VDMOS功率器件设计中，可以使VDMOS设计人员更加直观地从多个复杂的设计参数匹配中寻找到最有价值的匹配，大大方便了VDMOS设计人员。同时，该方法也可以大大降低器件设计及生产过程中的时间和成本。

关键词：响应曲面法、垂直双扩散金属氧化物晶体管、设计

分类号：TN402(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2014-11-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：30-32,38