镀金盖板上的绿激光标识技术

摘要：

镀金盖板广泛用于军品集成电路的气密性封装中，其表面标识通常采用油墨移印工艺，但油墨移印的标识在筛选或考核过程中有时存在部分脱落的风险，造成鉴定难以通过。在镀金盖板上的绿激光标识技术，不仅解决了镀金盖板标识脱落的问题，而且解决了高可靠集成电路镀金盖板表面标识产品序列号的工艺难题。激光标识后的样品，顺利通过了按GJB548B要求进行的温度循环、热冲击、耐溶剂和盐雾等可靠性试验。对镀金盖板的激光标识区域进行了电镜扫描和解剖分析的结果表明，标识区域镀金层成份和金层厚度基本没有变化。

关键词：气密性封装、镀金盖板、绿激光标识、盐雾试验

分类号：TN305.94(半导体技术)

在线出版日期：2014-11-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1-3,10