MEMS/Sensor工艺中无定形碳应用及干法蚀刻研究

摘要：

提出一套新的无定型碳牺牲层蚀刻工艺，新工艺应用于MEMS和Sensor牺牲材料工艺中，能够很好地解决无定形碳蚀刻工艺中有机副产物问题。在无定形碳蚀刻工艺中添加低浓度的CF4蚀刻气体（1%~5%），有助于去除在蚀刻过程中侧壁形成的有机副产物。在无定形碳蚀刻工艺前添加一步光刻胶硬化步骤，和在无定形碳蚀刻工艺后添加一步有机副产物各项异性蚀刻步骤，有助于去除表面产生的有机副产物。并针对新工艺去除无定形碳蚀刻过程中形成的有机副产物反应机制进行了详尽阐述与讨论。

关键词：无定形碳干法蚀刻、MEMS、Sensor、有机副产物去除

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2014-10-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：40-43