CMOS工艺中抗闩锁技术的研究

摘要：

伴随着CMOS工艺技术的发展，CMOS电路已经成为VLSI制造中的主流，而CMOS器件特征尺寸的快速缩小和CMOS电路的广泛应用，使得CMOS电路中的latch-up效应引起的可靠性问题也越来越受到大家的重视。阐述了CMOS工艺中闩锁的概念、原理及其给电路的可靠性带来的严重后果，深入分析了产生闩锁效应的条件、触发方式，并针对所分析的闩锁原因从版图设计、工艺改良、电路应用三个方面提出了一些防闩锁的优化措施，以满足和提高CMOS电路的可靠性要求。

关键词：闩锁、寄生BJT、PNPN结构

分类号：TN433(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2014-05-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：34-37