10.3969/j.issn.1681-1070.2014.04.009
铝线键合的等离子清洗工艺研究
采用DOE(实验设计)方法,通过比较铝线拉力的数值、标准方差及PpK,得到最适合铝线键合工艺的等离子清洗功率、时间和气流速度参数的组合。同时分析了引线框架在料盒中的摆放位置对等离子清洗效果的影响,引线框架置于等离子气体浓度高的位置清洗效果较好,引线拉力值能获得更低的方差和更优的过程控制能力。
等离子清洗、铝线、DOE
TN305.96(半导体技术)
2014-05-28(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
31-33,41