10.3969/j.issn.1681-1070.2013.12.010
0.13μm逻辑平台自对准工艺新型器件的优化
增加一层多晶硅的自对准工艺已经被验证在0.5μm以上的逻辑工艺平台有效降低50%金属氧化物半导体场效应管的面积。然而随着栅极尺寸的不断缩小,自对准工艺的器件结构发生了变化,其器件的不均匀性效应越来越高地被凸现出来。文章将以0.13μm的逻辑工艺为例,阐述了工艺中的器件不均匀性效应以及通过调整多晶硅的制程参数(温度)的方式予以解决的实例。
金属氧化物半导体场效应管、多晶硅、器件
TN386.1(半导体技术)
2013-12-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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