共面波导延迟线薄膜电路研制

摘要：

基于薄膜电路工艺制作的共面波导延迟线不仅具有体积小、重量轻、损耗低、抗干扰性强等优点，还易与其他微波电路集成，延时精度较准。但它对高精度、密集孔薄膜电路的制作提出了更高的要求。通过优化薄膜电路制作工艺流程，研制出图形精度优于±5μm，具有良好金属化通孔的X波段两位延迟线薄膜电路。测试结果显示，该X波段两位延迟线的插入损耗为-5.7 dB ~-4.6 dB，带内起伏优于±0.3 dB，中心频率点相位偏差为±5°，满足设计要求。

关键词：共面波导、两位延迟线、薄膜电路

分类号：TN45(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2013-12-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：26-29