3.0μm工艺模型建立方法研究

摘要：

器件模型作为Foundry跟设计公司接口的最基本桥梁，需要熟悉器件、工艺、物理、EDA等多方面的专业要求[1]，设计公司依据一个高精度的器件模型，针对确定的器件和工艺进行设计，可以保证设计电路产品的成品率和可靠性，提高工艺容宽，降低成本。随着加工工艺的不断进步，工艺建模更是必不可少。现在模型参数提取已经进入了45 nm时代，工艺模型则需要专业的建模公司来完成，因为这不仅需要专业的模型提取软件，亦需要昂贵的品类繁多的测试设备，当然更需要专业的建模技术人员。建立完整可靠和统一高效的SPICE模型是将先进的工艺制程迅速推向客户的关键。

关键词：模型、测试、MOSFET、SPICE

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2013-12-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：36-39,48